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安川 SEMISTAR-MR124 半导体晶片搬运用机器人
浏览: 发布日期:2018-06-21

       安川 SEMISTAR-MR124 半导体晶片搬运用机器人适用于晶元搬运SEMISTAR-M系列升级版,引领业界的高性能!供应EFEM模块全套设备。300枚/小时的高速搬运。

       半导体晶片搬运用机器人
       负载:-
       动态范围:1215mm
       控制柜:SR100
       用途:搬运、半导体

安川SEMISTAR-MR124机器人实物图

       大动作范围:EFEM模块移动距离可达4套应用设备,无需使用底架,极大地提高了搬运效率。
       高速搬运:300枚/小时
       适用:300mm-450mm晶片搬运


安川 SEMISTAR-MR124 半导体晶片搬运用机器人  


       *1:本公司标准终端效应器(300mm:边缘把持/真空吸着,450mm:真空吸)
       *2:300mm晶体(SEMI规格标准品),当使用本公司标准300mm对应终端校准器时
       *3:机械臂回旋中心位置~晶体中心位置(本公司标准300mm对应终端效应器时)
       *4:根据SEMI规格为基准的晶体规格。特殊石英晶体请与我司联系。石英晶体也可对应(有业绩)。但是根据石英规格,本公司需要进行评价和调整。
       *5:在0.3m/s的流量下,机械臂进行真空吸附


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