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安川 SEMISTAR-VD95D 双腕玻璃基板搬运机器人
浏览: 发布日期:2018-06-21

       安川 SEMISTAR-VD95D 双腕玻璃基板搬运机器人适用于真空环境内最大搬运尺寸达730*920mm双腕玻璃基板搬运机器人!

       双腕玻璃基板搬运机器人
       负载:95KG
       动态范围:2300mm
       控制柜:DX100
       用途:搬运、洁净室

安川 SEMISTAR-VD95D 双腕玻璃基板搬运机器人实物图

       大动作范围:最大搬运尺寸达730*920mm双腕玻璃基板搬运机器人。
       手臂采用连杆机构实现高钢性。
       采用真空内传送带驱动实现低放出气体性能。
       手臂可内置基板传感器用配线。

安川 SEMISTAR-VD95D 双腕玻璃基板搬运机器人

       *1:动作节拍不保证带有基板时搬运速度。由于抓手的形状及抓手的安装部分的钢性产生共振时,会影响动作节拍,请重新设定。
       *2:依据JIS B8432标准的动作重复定位精度。但有无工件时负载变动以及使用速度的差异、温度变化的影响不考虑在内。

 

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